特許

J-GLOBAL ID：200903010464686100

高精度移動機構

発明者： 岡本 清和 ,  西村 国俊
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360074
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162219
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】微動機構の制御と粗動機構の制御との干渉を十分になくして高精度の制御が行える高精度移動機構を提供する。【解決手段】高精度移動機構20は、粗動機構60と、駆動用可動部の動作方向と反対の方向に動作するバランス用可動部を有する微動機構50と、駆動用可動部の動きの反力が粗動機構60に伝達されないように微動機構50の駆動用可動部とバランス用可動部との少なくとも一方の駆動電圧と位相とを調整する駆動電圧調整回路56とを備える。駆動用可動部および載置台等とバランス用可動部との質量的な釣り合いが完全にとれていなくても、駆動電圧調整回路56によって、駆動用可動部とバランス用可動部との少なくとも一方に供給される駆動電圧が調整されるため、両者が完全に釣り合うことになる。

請求項（抜粋）：

固定部と載置台を印加電圧の変化に応じて高速微細に変位させる駆動用可動部とを有する微動機構と、この微動機構の固定部を変位させる可動部を有する粗動機構とを含み、前記載置台の動きが前記微動機構の動きと前記粗動機構の動きとの和になるように構成された高精度移動機構であって、前記微動機構は、前記駆動用可動部の動作方向と反対の方向に動作するバランス用可動部を備え、前記駆動用可動部の動きの反力が前記粗動機構に伝達されないように前記微動機構の前記駆動用可動部と前記バランス用可動部との少なくとも一方は駆動電圧と位相とを調整する駆動電圧調整回路を備えたことを特徴とする高精度移動機構。

IPC (4件)：

G01B 21/00 ,  B81B 3/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10

FI (5件)：

G01B 21/00 L ,  G01B 21/00 P ,  B81B 3/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 C

Fターム (13件)：

2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069MM32 ,  2F069MM38 ,  2F069RR01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-132904
  
• 物品用ステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-312930   出願人：カネテック株式会社
• 微細形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-070216   出願人：株式会社ミツトヨ
• 微細形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-285791   出願人：株式会社ミツトヨ