特許
J-GLOBAL ID：200903010491879239

原子間力顕微鏡

発明者：
高澤 信明

高澤 信明 について


出願人/特許権者：
トヨタ自動車株式会社

トヨタ自動車株式会社 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-235613
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065714
出願日： 1998年08月21日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、原子間力顕微鏡に関し、特に被測定物の表面の特定材料部分に凹凸を形成する試薬ならびに凹凸の形状変化をさらに強調するために、膨潤、エッチングまたは相互作用の付与のための処理を施して、高精度で表面材料を計測する原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】 被測定物の表面物質を測定するために、探針先端を被測定物に近接させて走査することにより前記測定物の表面凹凸を測定する原子間力顕微鏡であって、被測定物表面を平滑化する工程と、前記被測定物表面の特定材料と化学反応を起こすことにより前記特定材料部分に凹凸が形成される試薬を前記被測定物表面に配する工程によって処理された被測定物表面を前記探針により計測すること、および特定材料が官能基の分布状態での親水部であり他の被測定物表面は疎水部であり、試薬により該親水部を膨潤させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面物質を測定するために、探針先端を被測定物に近接させて走査することにより該測定物の表面凹凸を測定する原子間力顕微鏡であって、被測定物表面を平滑化する工程と、該被測定物表面の特定材料と化学反応を起こすことにより該特定材料部分に凹凸が形成される試薬を前記被測定物表面に配する工程によって処理された被測定物表面を前記探針により計測することを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (5件)：
G01N 13/16 ,  G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 1/36 ,  G01N 1/32
FI (5件)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 H ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 1/32 B ,  G01N 1/28 Z
Fターム (17件)：
2F069AA60 ,  2F069CC06 ,  2F069DD19 ,  2F069DD25 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ04 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069PP04 ,  2F069QQ05
引用特許：
審査官引用 (2件)

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