特許

J-GLOBAL ID：200903042764563433

走査型原子力顕微鏡により化学的に区別化された画像を形成する方法

発明者： ディーター、ホルン ,  ハーラルト、ケラー ,  ヴォルフガング、シュレプ ,  サブリ、アカリ
出願人/特許権者： ビーエーエスエフ アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 田代 烝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-023758
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005338
出願日： 1996年02月09日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【課題】 化学的に変性された探査針を使用して、横方向力モードを使用することなく走査型原子力顕微鏡により、化学的に区別化された画像を形成する方法を提供すること。【解決手段】 画像形成を垂直力モードまたは弾性モードで行なうことを特徴とする、化学的変性探査針を使用し、走査型原子力顕微鏡により、化学的に区別化された画像を形成する方法。

請求項（抜粋）：

画像形成を垂直力モード、弾性モード、タッピングモードまたは非接触モードで行なうことを特徴とする、化学的変性探査針を使用し、走査型原子力顕微鏡により、化学的に区別化された画像を形成する方法。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 19/00 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 19/00 ,  H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた分子加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-063121   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-330281
  
• 特開平4-330281