特許
J-GLOBAL ID：200903010518266358
線幅選択型2室式レーザシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 今城 俊夫
, 西島 孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-525953
公開番号（公開出願番号）：特表2005-502208
出願日： 2002年08月19日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
本発明は、約4,000Hz又はそれ以上のパルス繰返し率及び約5mJ以上のパルスエネルギーで高品質パルスレーザ光を生成することができるシード光注入モジュール放電ガスレーザシステムに関する。2つの別個の放電室を備え、その一方は、第2の放電室で増幅される超狭帯域シード光を生成する主発振器の一部である。2つの放電室は別個に制御することができ、主発振器内の波長パラメータの最適化及び増幅室内のパルスエネルギーパラメータの最適化を可能にする。F2レーザシステムの好適な実施形態は、MOPAとして構成され、特に集積回路リソグラフィの光源として使用されるように設計される。好適なMOPA実施形態において、各々の放電室は、各パルスの間で約0.25ミリ秒未満の時間で放電領域から残渣を除去することによって、4000Hz又はそれ以上のパルス繰返し率での作動を可能にするのに十分なガス流を供給する単一の横流ファンを備える。主発振器は、強いF2スペクトル線幅を選択するための線幅選択パッケージを備える。
請求項（抜粋）：
超狭帯域2室式高繰返し率の放電ガスレーザシステムであって、
A)1)a)第1のレーザガスと、
b)第1の放電領域を形成する、各々細長い形状で間隔をあけて設けられた第1の電極とを含む第1の放電室、
2)4,000パルス/秒又はそれ以上の範囲の繰返し率で作動する際に、各パルスの後に、放電によって生成されたイオンの実質的に全てを、次のパルスの前に前記第1の放電領域から除去するために、前記第1の放電領域における前記第1のレーザガスの十分なガス速度を作り出すための第1のファン、
3)前記第1のレーザガスから少なくとも16kwの熱エネルギーを除去することができる第1の熱交換器システムを備える第1のレーザユニットと、
B)選択された線幅スペクトルの外側のエネルギーを最小にするための線幅選択ユニットと、
C)1)a)第2のレーザガスと、
b)第2の放電領域を形成する、各々細長い形状で間隔をあけて設けられた第2の電極対とを含む第2の放電室、
2)4,000パルス/秒又はそれ以上の範囲の繰返し率で作動する際に、各パルスの後に、放電によって生成されたイオンの実質的に全てを、次のパルスの前に前記第2の放電領域から除去するために、前記第2の放電領域における前記第2のレーザガスの十分なガス速度を作り出すための第2のファン、
3)前記第2のレーザガスから少なくとも16kwの熱エネルギーを除去することができる第2の熱交換器システムを備える第2のレーザユニットと、
D)約4,000パルス/秒の速度で約5mJを超える正確に制御されたパルスエネルギーを有するレーザパルスを生成するのに十分な電気パルスを前記第1の電極対及び前記第2の電極対に供給するようになったパルス電力システムと、
E)前記2室式レーザシステムによって生成されたレーザ出力パルスのパルスエネルギーを測定すると共に、フィードバック制御方式で前記レーザ出力パルスを制御するためのレーザ光測定及び制御システムとを備え、
前記第1のレーザユニットからの出力レーザ光は、前記第2のレーザユニットをシードするためのシード光として用いることを特徴とするレーザシステム。
IPC (5件)：
H01S3/097
, H01L21/027
, H01S3/034
, H01S3/22
, H01S3/225
H01S3/097 A
, H01S3/03 G
, H01S3/223 E
, H01S3/22
, H01L21/30 515B
5F046CA03
, 5F046CB02
, 5F046CB06
, 5F046CB10
, 5F046CB22
, 5F071AA01
, 5F071AA02
, 5F071AA06
, 5F071DD05
, 5F071FF09
, 5F071GG05
, 5F071GG08
, 5F071GG09
, 5F071JJ07
