特許

J-GLOBAL ID：200903010529248556

光学素子

発明者： 土屋 陽一郎 ,  五明 良久 ,  武者 忠男 ,  水科 健 ,  四方山 正徳 ,  安西 学示 ,  大家 元樹
出願人/特許権者： シメオ精密株式会社
代理人 (2件)： 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-092336
公開番号（公開出願番号）：特開2005-275294
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】 サファイアを基材とする光学素子で、耐久性、耐衝撃性に優れ、可視域から近赤外域における光の好適な反射防止作用を備えた光学素子を提供する。【解決手段】 サファイアからなる基材10の表面に、5〜11層の奇数層からなる光透過膜層が積層されてなる反射防止膜20が設けられた光学素子であって、前記反射防止膜20が、基板側から奇数番目となる光透過膜層20aがSiO2からなり、偶数番目となる光透過膜層20bがTa2O5からなることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

サファイアからなる基材の表面に、5〜11層の奇数層からなる光透過膜層が積層されてなる反射防止膜が設けられた光学素子であって、 前記反射防止膜が、基板側から奇数番目となる光透過膜層がSiO2からなり、偶数番目となる光透過膜層がTa2O5からなることを特徴とする光学素子。

IPC (3件)：

G02B1/11 ,  B32B7/02 ,  B32B9/00

FI (3件)：

G02B1/10 A ,  B32B7/02 103 ,  B32B9/00 A

Fターム (13件)：

2K009AA02 ,  2K009AA08 ,  2K009AA09 ,  2K009BB01 ,  2K009CC03 ,  4F100AA17A ,  4F100AA17C ,  4F100AA20B ,  4F100BA05 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100JN01 ,  4F100JN06

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 反射防止膜および該反射防止膜を備えた光学系、ならびに該光学系を用いた露光装置やデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-277831   出願人：キヤノン株式会社
• 反射防止膜及び光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-080185   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 液晶プロジェクタ用サファイヤ基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-333265   出願人：並木精密宝石株式会社

審査官引用 (5件)

• 偏光変換素子及び投射型液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-056909   出願人：住友化学工業株式会社
• 特開昭60-225101
  
• 反射防止膜及び光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-080185   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭49-005051
  
• ファラデー回転子用反射防止膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-250859   出願人：住友金属鉱山株式会社