特許

J-GLOBAL ID：200903010631941533

排ガスの浄化方法及び浄化装置

発明者： 暉 末八 ,  宮野 安定 ,  秋田 昇 ,  大塚 健二 ,  島田 孝
出願人/特許権者： 日本パイオニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-348179
公開番号（公開出願番号）：特開2000-233117
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造工程などから排出されるアンモニア含有排ガスを、副生物を生じることがなく、二次処理を必要せず、効率よく、完全に浄化することのできる浄化方法及び浄化装置を開発する。【解決手段】 アンモニア含有排ガスをアンモニア分解触媒に接触させて、アンモニアの大部分を窒素と水素に分解し、アンモニア分解処理後の未分解アンモニアを吸着剤に接触させて浄化すると共に、該吸着剤の加熱再生の際に吸着剤から脱離したアンモニアを含む再生排ガスを前記アンモニア分解触媒に循環接触させる構成とする。

請求項（抜粋）：

アンモニアを含有する排ガスの浄化方法であって、該排ガスをアンモニア分解触媒と加熱下で接触させてアンモニアを水素と窒素に分解し、次に未分解アンモニアを吸着するために設けられた少なくとも2系列の吸着剤と順次切り換えて接触させて浄化すると共に、該吸着剤を順次切り換えて加熱再生し、その際に吸着剤から脱離するアンモニアを含む再生排ガスを前記アンモニア分解触媒に加熱下で接触させて浄化することを特徴とする排ガスの浄化方法。

IPC (5件)：

B01D 53/86 ZAB ,  B01D 53/86 ,  B01D 53/04 ,  B01D 53/58 ,  B01J 23/755

FI (5件)：

B01D 53/36 ZAB E ,  B01D 53/04 G ,  B01D 53/34 131 ,  B01D 53/36 B ,  B01J 23/74 321 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• アンモニア分解装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-224103   出願人：日本パイオニクス株式会社
• 排ガス処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-015278   出願人：三菱重工業株式会社