特許

J-GLOBAL ID：200903010634166000

アクティブ型除振装置

発明者： 木村 茂樹 ,  奥 岳史 ,  坂田 利文
出願人/特許権者： 東洋ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-147451
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329186
出願日： 1996年06月10日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】 搭載機器荷重が大きい場合でも共振周波数を低く設定することが可能で、低周波域を含めて広い範囲の振動に対して所定の除振性能および制振性能を確実かつ安定よく発揮させることができるようにする。【解決手段】 機器搭載台1を弾性支持する空気ばね2と、ピエゾアクチュエータ3と、このピエゾアクチュエータ3の駆動方向の少なくとも一端側に装着されたピストン部材4を介して該ピエゾアクチュエータ2の駆動変位を空気ばね2に伝達する作動流体5と、この作動流体5を密封状態に封入して空気ばね2とピエゾアクチュエータ3とを接続する流体通路6とを備えている。

請求項（抜粋）：

機器搭載台を弾性支持する空気ばねと、外部より駆動制御可能なピエゾアクチュエータと、このピエゾアクチュエータの駆動方向の少なくとも一端側に装着されたピストン部材を介して該ピエゾアクチュエータの変位を上記空気ばねに伝達する作動流体と、この作動流体を密封状態に封入して上記空気ばねと上記ピエゾアクチュエータとを接続する流体通路とを備えていることを特徴とするアクティブ型除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/04 ,  F16F 15/02 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

F16F 15/04 A ,  F16F 15/02 A ,  H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-185932
  
• 振動除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-231830   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平4-203629