光スポット歪測定調整装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-050466
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267080
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】光スポットの1次回折光の分布から微小の非点/球面収差を判別、調整できる簡単で正確な光スポット歪測定調整装置を実現する。【構成】光ヘッドを出射する光ビームスポットをCCD上に結像して、焦点前後の1次回折光の強度分布を4象現に分けて計算して、非点収差及び球面収差の検出を行う。

請求項（抜粋）：

放射光源と、放射光源を出射する光ビームを受け収束させる光ビーム収束手段と、前記光ビーム収束手段により形成される光スポットの光強度最大となる点を原点とする光軸の+及び-方向に各々所定値離れた点での1次回折光の分布を測定する手段と、測定値を演算する手段からなる光スポット歪測定調整装置。

IPC (2件)：

G11B 7/08 , G11B 7/22

引用特許：

審査官引用 (4件)

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