特許

J-GLOBAL ID：200903010640392682

静電チャック及びその制御方法

発明者： 城崎 友秀 ,  服部 正 ,  平野 信介
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-124143
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316297
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 チャッキング動作時におけるサージ電流の発生を抑制する。【構成】 チャック電極6の表面に被着された誘電体7と、チャック電極6に電圧を印加する高圧用電源10とを備え、誘電体7の上に載置されたウエハ11を静電力をもって吸着保持する静電チャックに対し、高圧用電源10の出力電圧を徐々に変化させる電圧可変手段として電圧制御部12を高圧用電源10に接続した。そして電圧制御部12からの指令にしたがい、ウエハ11を誘電体7上に吸着する際には高圧用電源10の出力電圧を徐々に上昇させ、またウエハ11を誘電体7から離脱させる際には高圧用電源10の出力電圧を徐々に降下させるようにした。

請求項（抜粋）：

チャック電極の表面に被着された誘電体と、前記チャック電極に電圧を印加する高圧用電源とを備え、前記誘電体の上に載置されたウエハを静電力をもって吸着保持する静電チャックにおいて、前記高圧用電源の出力電圧を徐々に変化させる電圧可変手段を具備したことを特徴とする静電チャック。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 23/58

FI (6件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 C ,  H01L 23/56 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電吸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-091347   出願人：富士通株式会社
• 静電吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-001027   出願人：株式会社日立製作所