カーボンナノチューブの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-361585
公開番号（公開出願番号）：特開2005-126257
出願日： 2003年10月22日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】広い面積の基板上に一様、且つ垂直配向したカーボンナノチューブを高速、且つ安価に量産することを可能にし、特性の優れた電子放射材料基板を提供する。【解決手段】金属反応容器内に基板を設置し、炭化水素ガスと水素との混合気体を反応容器内に導入し、前記基板と前記金属反応容器の間に所定周波数の高周波電力を供給して前記基板の周囲に放電プラズマを発生させ、前記基板に負のバイアス電圧又は/及びパルス電圧を繰り返し重畳して前記基板上にカーボンナノチューブを被着形成する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

金属反応容器内に基板を設置し、炭化水素ガスと水素の混合気体を反応容器内に導入し、前記基板と前記反応容器との間に所定周波数の高周波電力を供給して前記基板の周囲に放電プラズマを発生させ、前記基板に負のバイアス電圧又は/及び負のパルス電圧を繰り返し重畳して基板上にカーボンナノチューブを被着形成することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。

IPC (2件)：

C01B31/02 , C23C16/26

FI (2件)：

C01B31/02 101F , C23C16/26

Fターム (29件)：

4G146AA11 , 4G146AC03B , 4G146BA12 , 4G146BC09 , 4G146BC16 , 4G146BC25 , 4G146BC27 , 4G146BC44 , 4G146DA03 , 4G146DA16 , 4K030AA09 , 4K030AA17 , 4K030BA27 , 4K030BB01 , 4K030CA06 , 4K030CA17 , 4K030DA02 , 4K030EA03 , 4K030FA03 , 4K030FA14 , 4K030HA04 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030JA17 , 4K030JA18 , 4K030KA05 , 4K030KA16 , 4K030KA20 , 4K030LA11

引用特許：

出願人引用 (1件)

カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブ及び電子放出源
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-333529 出願人：株式会社国際基盤材料研究所, 双葉電子工業株式会社

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