特許
J-GLOBAL ID：200903043223858119
カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブ及び電子放出源
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大塚 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-333529
公開番号（公開出願番号）：特開2003-095625
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：
【要約】【課題】 カーボンナノチューブを効率よく製造可能にすること。【解決手段】 炭素原子数が1〜5の脂肪族炭化水素と水素との混合気体、あるいは、芳香族炭化水素と水素との混合気体を管110から反応容器101内に導入し、交流電源109から交流電力を供給してアノード102とカソード107間にプラズマを発生させ、これにより、基板105上にカーボンナノチューブを生成被着する。このとき、アノード102と基板105の距離を10cm以下の距離離間させて保持する。
請求項（抜粋）：
反応容器内に配設されたアノードとカソード間に所定周波数の交流電力を供給すると共に、炭素原子数が1〜5の脂肪族炭化水素と水素の混合気体、あるいは、芳香族炭化水素と水素との混合気体を反応容器内に導入して前記アノードとカソード間にプラズマを発生させ、前記アノードとカソード間に配設されると共に前記アノードから10cm以下の距離離間して配設された基板上にカーボンナノチューブを被着形成することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (2件)：
C01B 31/02 101
, D01F 9/127
C01B 31/02 101 F
, D01F 9/127
4G046CA02
, 4G046CB09
, 4G046CC06
, 4L037AT05
, 4L037CS03
, 4L037CT05
, 4L037FA02
, 4L037PA03
, 4L037PA11
, 4L037PA13
, 4L037PA21
, 4L037UA02
, 4L037UA04
, 4L037UA20
