特許

J-GLOBAL ID：200903010689126325

膜厚測定方法

発明者： 中久木 秀樹
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-233728
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042722
出願日： 2001年08月01日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】本発明は上記の問題に鑑みなされたものであり、その課題とするところは測定しようとする膜の屈折率を容易に求める機能を有する膜厚測定装置が望まれていた。【解決手段】分光反射率から干渉による極大、極小波長を全て求め、極大、極小値を与える波長に対応した仮の干渉次数を変えて膜厚を複数計算し、計算された複数の膜厚値のばらつきが一番小さい場合の干渉次数を真の干渉次数として、その干渉次数により算出された膜厚値の平均値を以って膜厚とすることを特徴とする膜厚測定方法であり、膜の屈折率を求める際に、膜厚既知のサンプルを測定しし、仮の膜屈折率を使用して前記方法で干渉次数を算出し、得られた干渉次数と極大、極小波長値、膜厚値から極大、極小波長に於ける膜屈折率を複数ポイント算出し、それらを近似式で置き換えて膜の屈折率とすることを特徴とする膜厚測定方法を提供する。

請求項（抜粋）：

分光反射率から干渉による極大、極小波長を全て求め、極大、極小値を与える波長に対応した仮の干渉次数を変えて膜厚を複数計算し、計算された複数の膜厚値のばらつきが一番小さい場合の干渉次数を真の干渉次数として、その干渉次数により算出された膜厚値の平均値を以って膜厚とすることを特徴とする膜厚測定方法であり、膜の屈折率を求める際に、膜厚既知のサンプルを測定し、仮の膜屈折率を使用して前記方法で干渉次数を算出し、得られた干渉次数と極大、極小波長値、膜厚値から極大、極小波長に於ける膜屈折率を複数ポイント算出し、それらを近似式で置き換えて膜の屈折率とすることを特徴とする膜厚測定方法。

IPC (5件)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/45 ,  G02F 1/13 101

FI (5件)：

G01B 11/06 G ,  G01N 21/27 B ,  G01N 21/35 Z ,  G01N 21/45 A ,  G02F 1/13 101

Fターム (52件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC31 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL03 ,  2F065LL20 ,  2F065LL26 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ30 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR09 ,  2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE10 ,  2G059EE11 ,  2G059FF08 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM03 ,  2G059MM04 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04 ,  2H088FA11 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088KA02 ,  2H088KA05 ,  2H088MA20

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 薄膜の厚さ測定方法および測定装置ならびに光学フィルターの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-170404   出願人：東レ株式会社
• 特開平4-320904
  
• 特開昭61-076905