特許
J-GLOBAL ID：200903010711928554
炭化ケイ素系接合構造体、炭化ケイ素系接合構造体の製造方法および炭化ケイ素系接合構造体の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-208317
公開番号（公開出願番号）：特開2006-027946
出願日： 2004年07月15日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】反応焼結法による炭化ケイ素部品ユニットの接合において、ずれなどを生じず均一な信頼性のある接合部を得ることができ、炭化ケイ素接合構造体の大型化、複雑形状化を図ることができる炭化ケイ素系接合構造体、炭化ケイ素系接合構造体の製造方法および炭化ケイ素系接合構造体の製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】一方の炭化ケイ素系形成体10の凹形接合面11に、他方の炭化ケイ素系形成体10の凸形接合面12を、接着剤を介して接着させる。これによって、凹形接合面11と凸形接合面12とが対応した嵌め合い構造となっているので、位置決めを容易に行うことができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
炭化ケイ素系形成体どうしを接着剤で接着し、脱バインダ処理し、溶融シリコンを含浸して接合された炭化ケイ素系接合構造体であって、
前記炭化ケイ素系成形体どうしの接合面を嵌め合い構造としたことを特徴とする炭化ケイ素系接合構造体。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
4G026BA14
, 4G026BB14
, 4G026BE04
, 4G026BF31
, 4G026BF43
, 4G026BG02
, 4G026BG23
, 4G026BH13
