特許
J-GLOBAL ID:200903010725292474
ガラスセラミックスグリーンシートの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
広瀬 章一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-154992
公開番号(公開出願番号):特開平8-073233
出願日: 1995年06月21日
公開日(公表日): 1996年03月19日
要約:
【要約】【構成】 B2O3含有ガラス粉末とセラミック系骨材との混合物からなる粗大な原料粉末を、アルコールを含有しない有機溶媒中で有機バインダーの存在下または不存在下に、或いはアルコールを含有する有機溶媒中で有機バインダーの存在下に、所定粒径まで湿式粉砕し、次いでこれに必要により添加剤 (例、有機バインダー、可塑剤、分散剤) を加えてスラリー化し、低温焼成可能なガラスセラミックスグリーンシートを製造する。【効果】 従来の水中での湿式粉砕時に認められた湿式粉砕中のガラス粉末の比表面積の増大が避けられ、少ないバインダー量で伸び率の高いグリーンシートを製造できる。このグリーンシートは、ボロの発生や穴間のひび割れを生ずることなく、小径のビアホールを狭いピッチで形成でき、多層配線基板の高集積化と小型化が容易となる。また、焼成後の基板の灰色着色や導電性低下が避けられる。
請求項(抜粋):
B2O3含有ガラス粉末を含む原料粉末を所定粒径まで湿式粉砕した後、少なくとも結合剤を含む有機溶媒中にスラリー化し、シート成形することからなるガラスセラミックスグリーンシートの製造方法であって、前記湿式粉砕をアルコールを含有しない有機溶媒中で有機バインダーの存在下または不存在下に行うことを特徴とするガラスセラミックスグリーンシートの製造方法。
IPC (5件):
C03B 20/00
, B28B 1/30 101
, B28B 17/02
, C04B 35/622
, H05K 1/03 610
引用特許:
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