特許
J-GLOBAL ID:200903010728846390

真空用フランジおよび真空用フランジユニット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-018904
公開番号(公開出願番号):特開2003-294146
出願日: 2003年01月28日
公開日(公表日): 2003年10月15日
要約:
【要約】【課題】 エッジ部の損傷やガスケットとエッジ部の間の多少の異物の挟み込みがあっても、超高真空下で気密なシールを構築することができる真空用フランジを提供すること。【解決手段】 真空用フランジ1は、本体部1bの端面にガスケット収納部1gを有し、上記ガスケット収納部1gには、このガスケット収納部1gから突出した2つのリング状のエッジ部1f,1hが設けられている。したがって、上記真空用フランジ1は、ガスケット収納部にエッジ部が1つしか設けられない従来の真空用フランジよりも、厳重で気密なシールを構築することができる。また、上記真空用フランジ1は、仮にエッジ部1fが機能しなくなったとしても、エッジ部1hによって従来の真空用フランジと同程度のシールを構築することができる。
請求項(抜粋):
貫通穴と締結部を有する本体部と、上記本体部の端面に設けられると共に、上記貫通穴の外側かつ上記締結部の内側に位置するガスケット収納部と、ガスケットを挟む方向に上記ガスケット収納部の壁面から突出する2以上のリング状のエッジ部とを備えることを特徴とする真空用フランジ。
IPC (2件):
F16J 15/08 ,  F16L 23/16
FI (2件):
F16J 15/08 G ,  F16L 23/02 D
Fターム (9件):
3H016AA01 ,  3H016AB07 ,  3H016AC01 ,  3H016AD08 ,  3J040AA18 ,  3J040BA04 ,  3J040EA04 ,  3J040FA02 ,  3J040HA15
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 真空フランジ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-001034   出願人:株式会社日立製作所
審査官引用 (1件)

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