特許

J-GLOBAL ID：200903010748386611

露光装置

発明者： 鈴木 武彦 ,  平賀 亮三
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-176163
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226353
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 半導体等の露光装置において光学部品の劣化を自動検知し、メンテナンスを容易化し、無用のランプ寿命の低下を防止すること。【構成】 超高圧水銀灯から直接取り出した光と、照明光学系内の各種光学素子を経てきた光の強度比を取り、該比の値を所定のの数値と比較することによって、自動で光学素子の劣化を検知すること。

請求項（抜粋）：

第1の物体上にあるパターンを感光材を塗布した第2の物体上に転写する露光装置において、該露光装置を構成する照明光学系の光源の近傍に該光源の光量モニター系を前記照明光学系の光量コントロールに用いられる光量モニターセンサーと独立に設けたことを特徴とする露光装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 502

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-143171   出願人：株式会社日立製作所