単結晶の珪素ナノチューブとその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-378931
公開番号（公開出願番号）：特開2005-139044
出願日： 2003年11月07日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】ナノスケールの半導体デバイス用材料として有用な単結晶の珪素ナノチューブの製造方法を提供する。【解決手段】硫化亜鉛粉末を不活性気流中で、1150〜1250°Cに加熱して硫化亜鉛ナノワイヤーを生成させ、その存在下に、一酸化ケイ素粉末を1200〜1400°Cに不活性気流中で加熱することにより、硫化亜鉛・ケイ素コア・シェル構造のナノワイヤーを生成させた後に、このコア・シェルナノワイヤーを塩酸水溶液で処理して、珪素ナノチューブを製造する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

外径が120〜180ナノメートル、チューブ壁の厚さが40〜60ナノメートルである単結晶珪素ナノチューブ。

IPC (3件)：

C30B29/66 , C01B33/02 , C30B29/06

FI (3件)：

C30B29/66 , C01B33/02 Z , C30B29/06 A

Fターム (19件)：

4G072AA01 , 4G072BB11 , 4G072BB20 , 4G072GG01 , 4G072GG03 , 4G072HH13 , 4G072MM24 , 4G072NN24 , 4G072RR23 , 4G072TT30 , 4G072UU01 , 4G077AA04 , 4G077BA04 , 4G077DA17 , 4G077EA02 , 4G077EA06 , 4G077FJ04 , 4G077SA02 , 4G077SA07

引用特許：

審査官引用 (1件)

機能性珪素材料の製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-158048 出願人：大阪瓦斯株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

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