集積回路検査装置およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 伊藤孝夫 , 樋口次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-206847
公開番号（公開出願番号）：特開2007-279014
出願日： 2006年07月28日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

【課題】基板に形成された集積回路と電気的に接続されてこの集積回路の電気的な動作確認を行う集積回路検査装置において、安価で、コンパクトかつ取り扱いが容易な装置とその製造方法を提供する。【解決手段】基板2の集積回路3の複数の入出力端子3aに接触して、この入出力端子3aと電気的に接続される複数のプローブ7と、これら複数のプローブ7を集積回路3の複数の入出力端子3aに接触可能な状態で担持する積層回路部5と、この積層回路部5を担持する積層回路担持基板4とを備え、複数のプローブ7は、長手方向が互いに概ね平行になるような状態で積層回路部5に担持された柱状のカーボンナノチューブ群7aを備えている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板に形成された集積回路と電気的に接続されてこの集積回路の電気的な動作確認を行う集積回路検査装置であって、上記基板の集積回路の複数の入出力端子に接触して、この入出力端子と電気的に接続される複数のプローブと、これら複数のプローブに電気的に接続されるとともにこれら複数のプローブを集積回路の複数の入出力端子に接触可能な状態で担持する積層回路部と、この積層回路部を担持する積層回路担持基板と、を備え、上記複数のプローブは、長手方向が互いに概ね平行になるような状態で積層回路部に担持された柱状のカーボンナノチューブ群を備えていることを特徴とする集積回路検査装置。

IPC (4件)：

G01R 1/067 , H01L 21/66 , G01R 1/073 , G01R 31/26

FI (4件)：

G01R1/067 B , H01L21/66 B , G01R1/073 D , G01R31/26 J

Fターム (13件)：

2G003AA10 , 2G003AG04 , 2G003AH00 , 2G011AA01 , 2G011AA16 , 2G011AC14 , 2G011AE03 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106DD03 , 4M106DD10

引用特許：

出願人引用 (1件)

プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-256186 出願人：株式会社日本マイクロニクス

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