特許

J-GLOBAL ID：200903010830253964

ターボ型真空ポンプ、及び該ターボ型真空ポンプを備えた半導体製造装置

発明者： 川崎 裕之
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (2件)： 熊谷 隆 ,  高木 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-134576
公開番号（公開出願番号）：特開2008-286179
出願日： 2007年05月21日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：

【課題】小型化、軽量化が可能で、簡単な構成で分離して構成された動翼を取付ける第1の回転軸とモータのロータ等を取付ける第2の回転軸が締結でき、高速回転及び比較的ロータを高温で稼動させるのに適したターボ型真空ポンプを提供すること。【解決手段】ポンプ部Pの軸方向片側に動翼を回転支持する軸受及びモータ部Mを配置したターボ型真空ポンプにおいて、動翼を取り付ける第1の回転軸25と、モータロータ41を取り付ける第2の回転軸44と、第1の回転軸25と第2の回転軸44を締結する締結部材29とを具備し、第1の回転軸25は高耐食性の材料で、第2の回転軸44は強磁性の材料で構成され、第1の回転軸25の線膨張係数が第2の回転軸の線膨張係数に比べて小さく、第1の回転軸25は中空構造であり、締結部材29は第1の回転軸25の中空部を貫通し第1の回転軸25と第2の回転軸44を締結する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

吸気口が設けられたケーシング内に、動翼と静翼からなるポンプ部が設けられ、前記ポンプ部の軸方向片側に前記動翼を回転支持する軸受及びモータを配置したターボ型真空ポンプにおいて、 前記動翼を取り付ける第1の回転軸と、少なくとも前記モータのロータを取り付ける第2の回転軸と、前記第1の回転軸と前記第2の回転軸を締結する締結部材とを具備し、 前記第1の回転軸は高耐食性の材料で、前記第2の回転軸は強磁性の材料でそれぞれ構成され、 前記第1の回転軸の線膨張係数が前記第2の回転軸の線膨張係数に比べて小さく、 前記第1の回転軸は中空構造であり、前記締結部材は前記第1の回転軸の中空部を貫通し該第1の回転軸と前記第2の回転軸を締結することを特徴とするターボ型真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/02 ,  F04D 29/044

FI (4件)：

F04D19/04 D ,  F04D19/04 E ,  F04D29/02 ,  F04D29/044

Fターム (27件)：

3H130AA12 ,  3H130AB13 ,  3H130AB28 ,  3H130AB42 ,  3H130AB63 ,  3H130AB65 ,  3H130AB69 ,  3H130AC02 ,  3H130BA22D ,  3H130BA23D ,  3H130BA38D ,  3H130CB19 ,  3H130DA02X ,  3H130DB08Z ,  3H130DD01Z ,  3H130DG02X ,  3H130DG03X ,  3H130EA01D ,  3H130EA08D ,  3H130EC02D ,  3H131AA01 ,  3H131AA02 ,  3H131AA04 ,  3H131BA01 ,  3H131CA04 ,  3H131CA34 ,  3H131CA37

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-115797号公報
  
• ターボ真空ポンプおよび該ターボ真空ポンプを備えた半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-297843   出願人：株式会社荏原製作所