ターボ真空ポンプおよび該ターボ真空ポンプを備えた半導体製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：渡邉勇 , 堀田信太郎 , 小杉良二 , 森友宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-297843
公開番号（公開出願番号）：特開2005-069066
出願日： 2003年08月21日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】耐腐食性を有するガスや反応生成物を含むガスを排気するターボ真空ポンプにおいて、回転軸に耐腐食性、低熱膨張係数、高強度・高ヤング率、強磁性の特性を付与することによって、長期間連続運転でき、かつ高速回転することにより小型・軽量化できるターボ真空ポンプを提供する。【解決手段】吸気口が設けられたケーシング21内に、動翼と静翼からなるポンプ部が設けられ、ポンプ部の軸方向片側に動翼を回転支持する軸受およびモータを配置したターボ真空ポンプにおいて、回転軸は、少なくとも1つの軸締結部を有し、動翼を取り付ける第1の回転軸28と、少なくともモータのロータを取り付ける第2の回転軸34を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

吸気口が設けられたケーシング内に、動翼と静翼からなるポンプ部が設けられ、前記ポンプ部の軸方向片側に動翼を回転支持する軸受およびモータを配置したターボ真空ポンプにおいて、回転軸は、少なくとも1つの軸締結部を有し、前記動翼を取り付ける第1の回転軸と、少なくともモータのロータを取り付ける第2の回転軸を有することを特徴とするターボ真空ポンプ。

IPC (5件)：

F04D19/04 , F04D29/02 , F04D29/04 , F04D29/10 , F04D29/58

FI (6件)：

F04D19/04 D , F04D19/04 E , F04D29/02 , F04D29/04 D , F04D29/10 , F04D29/58 Q

Fターム (23件)：

3H022AA03 , 3H022BA03 , 3H022BA06 , 3H022BA07 , 3H022CA01 , 3H022CA29 , 3H022CA50 , 3H022CA51 , 3H022CA56 , 3H022CA60 , 3H022DA13 , 3H022DA14 , 3H022DA16 , 3H022DA19 , 3H031DA04 , 3H031EA01 , 3H031EA05 , 3H031EA06 , 3H031EA13 , 3H031FA04 , 3H031FA32 , 3H031FA34 , 3H031FA40

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第2680156号

審査官引用 (7件)

真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-138945 出願人：三菱重工業株式会社
分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-093190 出願人：ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
ターボ分子ポンプによる排気方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-050345 出願人：株式会社日本製鋼所

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