センサ取付板、センサユニット及び流速センサモジュール

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-225439
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068645
出願日： 1996年08月27日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】多数の出力端子を有するセンサチップを用いて、正確な流速測定を行う。【解決手段】センサユニット10のセンサ取付板11のリードピン接続用ランド部にはリードピンが電気的に接続された状態で取り付られ、センサ保持部材の取付凹部23は、リードピン用貫通孔24にリードピンを通した状態でセンサ取付板11と係合されてセンサユニット10を予め定められた方向に保持し、シーリング部は、センサユニットとセンサ保持部材との間の気密性を確保するので、流体が漏れ出すことなく、正確な測定を行うことができるとともに、リードピンの設置のための制限が緩和されることとなり、多数の出力端子を有するセンサ本体を用いた多彩な測定が可能となる。

請求項（抜粋）：

測定対象流体の流路を形成するための流路形成部材に対する取付方向が予め定められたセンサ本体を有し、前記センサ本体からのセンサ出力信号を前記測定対象流体の流速情報とする流速センサモジュールに用いられるセンサ取付板において、板状の絶縁性基板と、前記流路の一部を形成する前記絶縁性基板の一方の面に設けられ、前記センサ本体を取り付けるためのセンサ取付用ランド部と、前記一方の面に設けられ、前記センサ本体の出力端子と電気的に接続されるパッド部と、前記絶縁性基板の他方の面に設けられ、前記パッド部と前記絶縁性基板の内部を介して電気的に接続されたリードピン接続用ランド部と、を備えたこと特徴とするセンサ取付板。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭60-004814
センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-303610 出願人：トキコ株式会社
特開平2-195941

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