特許
J-GLOBAL ID：200903010854830822
水晶振動子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-233905
公開番号（公開出願番号）：特開平8-092755
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：
【要約】【目的】 水晶基板上に導電性金属層を均一にかつ薄く形成することができる水晶振動子の製造方法を提供する。【構成】 人工水晶基板上に所定の形状のぬき型マスクを施し、超音波を用いたスプレーパイロリシス法により、半導体作成用金属塩水溶液の濃度および噴霧時間を設定して半導体層を成膜した後に無電解めっきを行って導電性金属層を形成する。この際、無電解めっき浴に超音波をかけながらめっきを行う。
請求項（抜粋）：
水晶基板上に半導体層及び触媒金属層を形成した後に、前記水晶基板を無電解めっき浴中に浸漬することにより前記触媒金属層上に導電性金属層を形成する工程を有する水晶振動子の製造方法において、前記無電解めっきを行う際に前記めっき浴に超音波を作用させることによって前記めっき浴を揺動することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 18/31
, C23C 18/18
, H03H 3/02
