グロー放電分析装置およびグロー放電分析装置の分析結果表示方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-246638
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085352
出願日： 2002年08月27日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】試料の層分離状態と、その層ごとの成分比率を一目で把握することができる分析結果の表示機能を有するグロー放電分析装置およびグロー放電分析装置の分析結果表示方法を提供する。【解決手段】グロー放電による試料S表面へのスパッタリングを用いて試料Sの深さ方向の成分分析を行なうグロー放電分析装置1であって、試料の各部の成分比によって層に分類した各層の成分比の平均を、深さ方向の位置に対応させて表わす深さ成分比グラフ36の表示部35を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

グロー放電による試料表面へのスパッタリングを用いて試料の深さ方向の成分分析を行なうグロー放電分析装置であって、試料の各部の成分比によって層に分類した各層の成分比の平均を、深さ方向の位置に対応させて表わす深さ成分比グラフの表示部を有することを特徴とするグロー放電分析装置。

IPC (1件)：

G01N21/67

FI (1件)：

G01N21/67 C

Fターム (14件)：

2G043AA01 , 2G043BA02 , 2G043BA07 , 2G043CA05 , 2G043DA06 , 2G043EA09 , 2G043FA01 , 2G043FA06 , 2G043HA01 , 2G043JA04 , 2G043LA02 , 2G043NA01 , 2G043NA02 , 2G043NA06

引用特許：

審査官引用 (8件)

グロー放電発光分光分析における多層膜自動判定による定量分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-238351 出願人：株式会社島津製作所
特開昭60-179633
特開昭60-179633

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