振動測定装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-275774
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128130
出願日： 1993年11月04日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】レーザ光のスポット径を任意に設定でき、レーザ光と被測定物との相対位置の設定とレーザ光と被測定物との相対位置の確認が可能な振動測定装置を得る。【構成】レーザドップラ振動計1007から照射された振動測定信号となるレーザ光はハーフミラー1002より反射さ、対物レンズ1003により集光する。レーザ光は、焦点調整部材1006により対物レンズ1003の位置を移動して、ピントを調整し、支持台1005に支持された被測定物1004の表面に照射する。被測定物1004の振動応答信号は、ハーフミラー1002により分光され、再び反射されたレーザ光は振動測定機に戻る。ハーフミラー1002を透過したもう一方のレーザ光は、CCDカメラ1001へ照射する。

請求項（抜粋）：

被測定物(104)の任意の位置における振動状態を非接触で測定するための振動測定装置において、被測定物(104)に振動測定信号を照射すると共に、被測定物(104)からの振動応答信号を検出し、振動測定するための振動測定手段(107)と、振動測定信号ならびに振動応答信号を反射すると共に、振動応答信号を透過させるための半透過手段(102)と、半透過手段(102)により反射された振動測定信号を集光し、かつ、被測定物(104)の表面状態を示す画像を光学的に拡大するための光学系処理手段(103)と、光学系処理手段(103)を移動させて、光学系処理手段(103)と被測定物(104)との焦点調整を行うための焦点調整手段(106)と、被測定物(104)を光軸付近で支持するための支持手段(105)と、被測定物(104)の表面状態を示す画像を表示し、かつ、振動測定手段(107)からの振動測定信号と被測定物との相対位置を確認するための表示手段(101)と、を有することを特徴とする振動測定装置。

IPC (3件)：

G01H 9/00 , G01B 11/00 , G01H 17/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

キーボード
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-199975 出願人：東北日本電気株式会社
特開昭61-262622
鉄塔取付機器の振動検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-339175 出願人：日本碍子株式会社

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