特許
J-GLOBAL ID：200903010904822915
反射型マスクブランク及び反射型マスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-062093
公開番号（公開出願番号）：特開2009-218459
出願日： 2008年03月12日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：
【課題】基板と、露光光を反射する多層反射膜と、露光光を吸収する吸収体と、を有し、吸収体の膜厚を薄くし、露光時にパターン周辺部の解像度低下を防止し、検査光に対するコントラストを向上させた反射型マスクブランク及び反射型マスクを提供する。【解決手段】吸収体が第一の吸収体205と第二の吸収体204から構成され、第一の吸収体205が第二の吸収体204の上に露光光側となるように積層された構造を有し、第一の吸収体205が有する、露光光に対する消衰係数の値が、第二の吸収体204が有する、露光光に対する消衰係数の値よりも大きいかまたは等しく、且つ、第一の吸収体205が有する、露光光よりも波長の長い検査光に対する消衰係数の値が、第二の吸収体204が有する、露光光よりも波長の長い検査光に対する消衰係数の値よりも小さい反射型マスクブランク及び反射型マスク。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
少なくとも基板と、露光光を反射する多層反射膜と、露光光を吸収する吸収体と、を有する反射型マスクブランクであって、該吸収体が少なくとも第一の吸収体と第二の吸収体から構成され、該第一の吸収体が該第二の吸収体の上に露光光側となるように積層された構造を有し、且つ、第一の吸収体が有する、露光光に対する消衰係数の値が、第二の吸収体が有する、露光光に対する消衰係数の値よりも大きいかまたは等しく、且つ、第一の吸収体が有する、露光光よりも波長の長い検査光に対する消衰係数の値が、第二の吸収体が有する、露光光よりも波長の長い検査光に対する消衰係数の値よりも小さいことを特徴とする反射型マスクブランク。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 531M
, G03F1/16 A
2H095BA10
, 2H095BC11
, 2H095BC14
, 5F046GD01
, 5F046GD10
, 5F046GD16
