プローブカード及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245243
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068545
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】針押さえにプローブ針を固定している接着剤を、針固定部の長手方向において分断することにより、接着剤が収縮する場合に、針固定部の長手方向全体にわたっての変形を抑制する。【解決手段】接着剤56は、針固定部40に形成された仕切壁46によって長手方向58において分断されている。これにより、接着剤56が硬化した後に常温に戻す段階で、接着剤56が収縮しても、その収縮による応力は、分断された個々の接着領域に限定され、針固定部40の長手方向全体にわたっての変形が抑制される。個々の接着領域に固定された一群のプローブ針は、検査すべき一つのICチップに対応しており、このプローブカードでは8個のICチップを同時に検査できる。

請求項（抜粋）：

多数のプローブ針が固定用接着剤で針押さえに固定されているプローブカードにおいて、前記針押さえは、プローブ針の長手方向に交差する方向に延びる細長い針固定部を有し、前記固定用接着剤は、前記針固定部の長手方向に垂直な分断線によって分断された複数の接着領域からなることを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 1/06 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 E , G01R 1/06 D , H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平1-161158
特開平2-156161
特開平3-205842

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