粒子径可変生成装置及び粒子径可変生成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009192
公開番号（公開出願番号）：特開平11-207224
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】微小かつ均一な液体の液滴を作製すると共に、その液滴径を可変とし、かつ上記異なる粒子径のものを同時に生成する粒子径可変生成装置及び粒子径可変生成方法を提供する。【解決手段】複数の吐出部110、111、112を有した第一の液滴吐出手段1と、該手段1から吐出される液滴を表面弾性波による振動エネルギーによってさらに微小化して吐出する第二の液滴吐出手段2とを有し、前記第二の液滴吐出手段2は、表面弾性波発生基板21上で表面弾性波の進行方向に直角な方向に、異なる共振周波数を有する複数の櫛歯型電極(IDT)3(31、32)が形成されてなる粒子径可変生成装置であって、前記第一の液滴吐出手段1から吐出される粒子が、前記特定のIDT3により微粒子化されるように、第一の液滴吐出手段1の特定の吐出部を駆動することによって実現している。

請求項（抜粋）：

複数の吐出部を有した第一の液滴吐出手段と、該第一の液滴吐出手段から吐出される液滴を表面弾性波による振動エネルギーによってさらに微小化して吐出する第二の液滴吐出手段とを有し、前記第二の液滴吐出手段は、表面弾性波の発生基板上で表面弾性波の進行方向に直角な方向に、異なる共振周波数を有する複数の櫛歯型電極(IDT)が形成されてなる粒子径可変生成装置であって、前記第一の液滴吐出手段から吐出される液滴が、前記特定のIDTにより微粒子化されるように、第一の液滴吐出手段の特定の吐出部を駆動することを特徴とする粒子径可変生成装置。

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平3-216338
特開昭63-158265
特開平4-119854

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