形状測定方法と装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：廣澤勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150423
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354136
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】簡単な構成で、土器などの不定型な被測定物の外形や断面の形状を正確に測定する。【解決手段】レーザー光源12から発せられたレーザー光Lを被測定物14に導く出射光学系と、被測定物14に照射されたレーザー光LのスポットPを撮像する撮像光学系18と、レーザー光スポットPを撮す撮像素子20とを備える。レーザー光スポットPを被測定物14表面で走査する走査装置と、撮像素子20により捉えたレーザー光スポットPの像を基に、被測定物表面14のレーザー光スポットPの位置を演算するコンピュータ34とを有する。レーザー光スポットPの走査により得られた位置データを、レーザー光スポットPの3次元の点群データとして集積し、任意の平行な平面間の点群データを抽出してマス目に分割し、その分割したマス目毎に、各マス目中の点の平均位置を代表点として定め、代表点をつないで被測定物14の計測形状とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザー光源と、このレーザー光源から発せられたレーザー光を被測定物に導く出射光学系と、上記被測定物に照射されたレーザー光のスポットを撮像する撮像光学系と、この撮像光学系を介して上記レーザー光のスポットを撮す撮像素子と、上記レーザー光のスポットを上記被測定物表面で走査する走査装置と、上記撮像素子により捉えた上記レーザー光スポットの像を基に上記被測定物表面の上記レーザー光スポットの位置を演算する計測装置とを有し、上記レーザー光を上記被測定物表面で走査して上記被測定物の形状を測定する形状測定方法において、上記計測装置により、上記レーザー光スポットの位置データの各点を3次元の点群データとして集積し、この3次元の点群データの位置情報の中から任意の平行な平面間の上記点群データを抽出し、この抽出した点群データを上記平面と平行な平面上で任意の区画のマス目に分割し、その分割したマス目毎に、各マス目中の点の平均位置を代表点として定めるとともに、この代表点を定める前または後で、各々互いに隣接するマス目同士を1本の線でつなぐように順番を求め、求めた順に上記代表点をつないで、そのつないだ線を滑らかな線に形成し、その線画を上記被測定物の計測形状とすることを特徴とする形状測定方法。

IPC (1件)：

G01B11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (9件)：

2F065AA04 , 2F065AA53 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065LL62 , 2F065MM16 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ34

引用特許：

審査官引用 (2件)

表面形状の計測描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-253912 出願人：アイシン精機株式会社
特許第2822007号

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