板体加熱装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北條和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-161586
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354526
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】大面積の薄形板状の加熱物aを高温に、且つ均一な温度分布で加熱し、さらに加熱冷却に対する温度のレスポンスも良好とする。【解決手段】前記加熱物支持部材1の加熱物aを載せる加熱部2を加熱する加熱手段として、加熱部2の周辺部を加熱するメインフィラメント9aと、同加熱部2の中心部を加熱するサブフィラメント9bとを備える。これにより、放熱により温度低下しやすい加熱物aの周辺部をメインフィラメント9aで加熱し、さらに、このメインフィラメント9aだけでは温度低下を来しやすい加熱物aの中心部をサブ加熱フィラメント9bで加熱する。加熱物支持部材1の内部空間内にあって、その加熱部2に対してフィラメント9a、9bより背後に、熱を反射するリフレクタ3を設ける。

請求項（抜粋）：

薄型平板状の加熱物(a)をその背面側から加熱する平板加熱装置において、内部に気密な空間が形成され、加熱物(a)を載せる平坦な加熱部(2)を有する耐熱性の加熱物支持部材(1)と、この加熱物支持部材(1)の前記加熱部(2)の背後の空間部に設けられ、加熱物支持部材(1)を加熱する加熱手段とを有し、この加熱手段は、前記前記加熱物支持部材(1)の加熱部(2)の周辺部を加熱するメイン加熱手段と、同加熱部(2)の中心部を加熱するサブ加熱手段とを有することを特徴とする板体加熱装置。

IPC (3件)：

H01L 21/324 , H01L 21/68 , H05B 3/20 335

FI (3件)：

H01L 21/324 J , H01L 21/68 N , H05B 3/20 335

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平2-262331
特開昭63-216283
特開平2-027715

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