電極膜及びこれを利用した磁気抵抗効果ヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-299599
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138915
出願日： 1995年11月17日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】薄膜において比抵抗が小さく且つ耐食性に優れ、耐摩耗性にも優れた電極膜及びそれを電極膜として用いることによって抵抗・発熱・ノイズが小さく且つ信頼性が高い磁気抵抗効果ヘッドを提供すること。【解決手段】磁気抵抗効果ヘッド等の所定部材上に所定の面積をもって薄膜状に形成され電極部として機能する電極膜5A,5Bにおいて、この電極膜5A,5Bを、体心立方構造を有し且つその(1,1,0)面に垂直方向の結晶粒の大きさが150オングストローム以上のモリブデン膜で構成したこと。又、このモリブデン膜を電極として装備した磁気抵抗効果ヘッドを提供すること。

請求項（抜粋）：

磁気抵抗効果ヘッド等の所定部材上に所定の面積をもって薄膜状に形成され電極部として機能する電極膜において、この電極膜を、体心立方構造を有し且つその(1,1,0)面に垂直方向の結晶粒の大きさが150オングストローム以上のモリブデン膜で構成したことを特徴とする電極膜。

引用特許：

審査官引用 (2件)

磁気抵抗効果型ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-322170 出願人：三洋電機株式会社
磁気抵抗効果型ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280780 出願人：三洋電機株式会社

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