特許
J-GLOBAL ID：200903011095856540

マイクロ波装置

発明者：
岡本 正

岡本 正 について

, 
安田 昌弘

安田 昌弘 について


出願人/特許権者：
株式会社IDX

株式会社IDX について


代理人 (1件)： 大塚 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-046349
公開番号（公開出願番号）：特開2007-228219
出願日： 2006年02月23日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】 導入できるマイクロ波の周波数帯域が狭い負荷に対しマグネトロンで効率よくマイクロ波を導入できる新しい手段を提供する。【解決手段】 周波数特性が優れた低電力の注入波発振装置の出力をマグネトロンに注入してマグネトロンの出力特性を発振周波数とスペクトラムについて大きく改善するとともに、合わせて負荷からの反射をこの注入波発振装置に導入されないようにして、マグネトロン出力を負荷に効率よく安定に導入できる装置を実現した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マイクロ波出力がマグネトロンの定格出力に比較して十分小さく出力周波数の帯域幅が3MHz以下である注入波発振装置の出力をサーキュレータを介して前記マグネトロンに注入すると共に、注入波により出力周波数の帯域幅が3MHz以下に制御された前記マグネトロンの出力をサーキュレータを介して負荷に導入し、負荷からの反射電力をサーキュレータを介して無反射終端に導くようにしたことを特徴とするマイクロ波装置。
IPC (5件)：
H03B 9/10 ,  B01J 19/12 ,  H05B 6/68 ,  H01J 25/50 ,  H03L 7/00
FI (5件)：
H03B9/10 ,  B01J19/12 A ,  H05B6/68 320Z ,  H01J25/50 ,  H03L7/00 Z
Fターム (18件)：
3K086AA06 ,  3K086AA07 ,  3K086AA08 ,  3K086AA09 ,  3K086BA07 ,  3K086BA08 ,  4G075AA61 ,  4G075BB10 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075DA04 ,  5J106AA01 ,  5J106CC05 ,  5J106CC06 ,  5J106DD14 ,  5J106GG01 ,  5J106KK05 ,  5J106KK12
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (10件)
  • プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-017673   出願人：東京エレクトロン株式会社, 日本高周波株式会社
  • 特開昭57-098997
  • 特開昭60-062092
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