特許
J-GLOBAL ID:200903011118977057

セラミック部品及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-290755
公開番号(公開出願番号):特開2004-123459
出願日: 2002年10月03日
公開日(公表日): 2004年04月22日
要約:
【課題】セラミック板にろう付けされるろう付け部品の位置精度を維持し、しかもろう付けする際に用いられる治具を安価で容易に設計可能なセラミック部品を提供する。【解決手段】ワークを静電気力により保持するセラミック板3を備えたセラミック部品において、セラミック板3がベース基板1に固定される面に凹部8が形成され、該凹部8上にろう材5を介して止めねじ4が起立してろう付けされている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ワークを静電気力により保持するセラミック板を備えたセラミック部品において、 前記セラミック板がベース基板に固定される面に凹部が形成され、該凹部上にろう材を介して止めねじが起立してろう付けされていることを特徴とするセラミック部品。
IPC (1件):
C04B37/02
FI (1件):
C04B37/02 B
Fターム (5件):
4G026BA03 ,  4G026BB27 ,  4G026BE04 ,  4G026BF11 ,  4G026BH06
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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