特許
J-GLOBAL ID：200903011151966877
N-ビニルラクタム誘導体の共重合体とその製造方法、及びその共重合体を含有するフォトレジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-145307
公開番号（公開出願番号）：特開平10-182754
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】 N-ビニルラクタム誘導体の共重合体とその製造方法、及びその共重合体を含有するフォトレジストを提供する。【解決手段】 一般式(I)で表されるN-ビニルラクタム誘導体を導入した共重合体。【化l】[R1は、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、又は炭素数3〜9のトリアルキルシリル基を表す。R2及びR3は、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数3〜9のトリアルキルシリル基、-OR′、-SO3R′、-CO2R′、-PO3R′、-SO2R′又は-PO2R′を表す。R4及びR5は、水酸基、-OR、水素原子、炭素数l〜10のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、又は炭素数3〜9のトリアルキルシリル基を表す。R7及びR9は、水素原子、炭素数l〜10のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基又は炭素数3〜9のトリアルキルシリル基を表す。R6及びR8は、炭素数6〜20のアリール基、又は-COOR′′を表す。]
請求項（抜粋）：
一般式(I)で表されるN-ビニルラクタム誘導体を導入した共重合体。【化l】[式中、R1は、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、又は炭素数3〜9のトリアルキルシリル基を表す。R2及びR3は、それぞれ、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数3〜9のトリアルキルシリル基、-OR′、-SO3R′、-CO2R′、-PO3R′、-SO2R′、又は-PO2R′(R′は炭素数l〜10のアルキル基、シクロアルキル基、あるいは窒素原子、酸素原子、リン原子又は硫黄原子等のヘテロ原子を含むサイクリック基(cyclic)、又は炭素数6〜12のアリール基)を表す。R4及びR5は、それぞれ、水酸基、-OR(Rは炭素数1〜10のアルキル基、又は炭素数6〜12のアリール基)、水素原子、炭素数l〜10のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、又は炭素数3〜9のトリアルキルシリル基を表す。R7及びR9は、それぞれ、水素原子、炭素数l〜10のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、又は炭素数3〜9のトリアルキルシリル基を表す。R6及びR8は、それぞれ、炭素数6〜20のアリール基、又は-COOR′′(R′′は炭素数l〜10のアルキル基、又は炭素数6〜12のアリール基)である。mは0〜10の整数である。jは0.005〜0.7のモル分率であり、k及びlは、それぞれ、0.05〜0.9のモル分率を表し、j+k+l=1である。]
IPC (5件)：
C08F226/06
, C08F212/00
, C08F220/12
, C08F230/08
, G03F 7/039 601
C08F226/06
, C08F212/00
, C08F220/12
, C08F230/08
, G03F 7/039 601
出願人引用 (8件)
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特開昭55-003495
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特公昭45-025706
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減感インキ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-182572
出願人：三菱製紙株式会社
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審査官引用 (8件)
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特開平2-214710
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立体画像表示盤の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-164691
出願人：積水化学工業株式会社
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特開昭55-003495
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