ポジ型感光性組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-003900
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207886
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】ラインエッジラフネスが改善され、プロファイルが優れたポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】(A1)活性光線又は放射線の照射により、少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸を発生する化合物少なくとも1種、(A2)スルホン酸のα位がフッ素原子で置換されていないアルカンスルホン酸のオニウム塩及び/又はカルボン酸オニウム塩、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A1)活性光線又は放射線の照射により、少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸を発生する化合物少なくとも1種、(A2)スルホン酸のα位がフッ素原子で置換されていないアルカンスルホン酸のオニウム塩及び/又はカルボン酸オニウム塩、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 503 , C08F 32/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/004 503 A , C08F 32/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (39件)：

2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025FA17 , 4J100AK32S , 4J100AR09P , 4J100AR09Q , 4J100AR09R , 4J100AR11P , 4J100AR11Q , 4J100AR11R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04Q , 4J100BA10Q , 4J100BA10R , 4J100BA14Q , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BA20R , 4J100BC04Q , 4J100BC07Q , 4J100BC07R , 4J100BC36P , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100JA32 , 4J100JA43

引用特許：

審査官引用 (1件)

光酸発生剤のブレンドを含むフォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-042690 出願人：シップレーカンパニーエルエルシー

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