特許
J-GLOBAL ID：200903011154083062
測定プローブ、その製造方法及びその針交換方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059638
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251032
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【課題】 測定プローブに関し、組み立てが簡単で、しかも、高い精度で変位検出をすること、及び、針先端部を容易に交換する。【解決手段】 針先端部を測定対象に接触させる探針部11と、探針部11上に設けた光学式の電圧検出手段12と、一方に電圧検出手段12が取り付けられ、他方が可動電極13Aを成す中空管13と、探針部11の上下方向の移動を自由にさせるように中空管13を支持する導電性の可動梁部14と、可動電極13Aに対向して配置された対向電極15と、該電極15の上下方向の移動を調整するギャップ調整ネジ16と、このネジ16及び対向電極15を支持する導電性の電極支持部17と、可動梁部17と電極保持部17との間に設けた絶縁リング18とを備え、両電極13A、15とが対向した状態で可動梁部17と電極保持部17と絶縁リング18とが低融点金属膜を介して熱接合された一体構造を成している。
請求項（抜粋）：
固定電極を支持する支持手段と、前記固定電極に対向して容量を形成する可動電極を一端に設けた中空の導光管と、前記導光管の一端に接続して該導光管を支持する弾性体と、前記導光管の他端に設けられた電気光学変換素子と、前記電気光学変換素子に接続した探針部と、前記支持手段と弾性体との間に設けた絶縁体と、前記支持手段と絶縁体との間及び前記絶縁体と弾性体との間を接着する低融点金属膜とを備えていることを特徴とする測定プローブ。
IPC (6件)：
G01R 1/06
, G01B 11/24
, G01N 37/00
, G01R 31/26
, G01R 31/302
, H01L 21/66
G01R 1/06 F
, G01B 11/24 Z
, G01N 37/00 G
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 C
, H01L 21/66 J
, G01R 31/28 L
