表面検査装置および表面検査方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井康夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-213115
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075659
出願日： 1994年09月07日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】反射特性が異なる表面欠陥を極めて簡易な構成で、しかも的確にかつ効率よく極めて短時間に検出することができる表面検査方法および表面検査装置を提供する。【構成】感光体ドラム2の表面にその移動方向に複数の検出エリア1を設定する。各検出エリア1を光源6で照明すると、それぞれ違う散乱角を有する反射光がCCDカメラ7に入射する。CCDカメラ7は2次元のエリアセンサを有しており、1つのエリアセンサ上に設定された複数の受光領域で各検出エリア1からの散乱角の違う反射光をそれぞれ受光する。各受光領域の信号に基づき欠陥判定部9で各検出エリア1ごとに設定されたパラメータに従って欠陥を検出する。コンピュータ12では、各検出エリア1ごとに検出した欠陥の同定、反射特性の違う欠陥の種別判定、感光体ドラム2の合否判定などを行なう。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面の検査を行なう表面検査装置において、光を前記被検査体に照射する光照射手段と、前記被検査体からの反射光を受光して電気信号に変換する2次元光電変換手段と、該2次元光電変換手段からの電気信号を処理し欠陥を検出する検査手段を有し、前記2次元光電変換手段には、前記被検査体の移動方向に前記反射光を受光する複数の領域が設定されていることを特徴とする表面検査装置。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-152255
特開平3-206949
特開平3-035148

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