特許
J-GLOBAL ID：200903011175636240
マイクロミラー及びその製造方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 由己男
, 稲積 朋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-350367
公開番号（公開出願番号）：特開2005-165333
出願日： 2004年12月02日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】 高速にて駆動しつつも大きな駆動角度を有するように構造が改善されたマイクロミラーを提供する。【解決手段】 マイクロミラーは、光を反射する回転自在なミラー部と、ミラー部を支持し、ミラー部の回動時に回転軸となる1対のスプリング部と、ミラー部と1対のスプリング部を連結する連結部と、連結部に設けられる移動コームおよびこの移動コームの上部あるいは下部に移動コームと対応すべく設けられて静電気力を生じさせるための固定コームを有する駆動部とを備えることを特徴とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
光を反射する回転自在なミラー部と、
前記ミラー部を支持し、前記ミラー部の回動時に回転軸となる1対のスプリング部と、
前記ミラー部と前記1対のスプリング部を連結する連結部と、
前記連結部に設けられる移動コーム(Comb)およびこの移動コームの上部あるいは下部に移動コームと対応すべく設けられて静電気力を生じさせるための固定コームを有する駆動部と、
を備えることを特徴とするマイクロミラー。
IPC (4件)：
G02B26/10
, B81B3/00
, B81C1/00
, G02B26/08
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 C
, B81B3/00
, B81C1/00
, G02B26/08 E
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H045AB02
, 2H045AB06
, 2H045AB38
, 2H045AB73
, 2H045DA02
出願人引用 (2件)
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大韓民国公開特許第2002-072870号公報
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米国公開特許第2002-136485号公報
審査官引用 (3件)
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