特許

J-GLOBAL ID：200903031135275164

マイクロミラー駆動装置及びその制御方法

発明者： 閔 英薫 ,  崔 桓栄 ,  慎 ▲ヒュン▼宰 ,  李 定観
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-056564
公開番号（公開出願番号）：特開2002-311376
出願日： 2002年03月01日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 マイクロミラーの共振周波数と振幅を同時に制御し、低電圧で回動角を大きくできるマイクロミラー駆動装置を提供する。【解決手段】 少なくとも一つのグルーブを有するマイクロミラー110と、マイクロミラー110を回動自在に支持する弾性体105と、マイクロミラー110と相互作用して静電力を生じることによってマイクロミラー110を回動させる少なくとも一つ以上の電極とを含む。静電力を利用してマイクロミラー110を駆動するにおいて、マイクロミラー110で必要である有効面積、すなわち、光の反射経路を維持しつつ静電力を印加できる駆動部面積を広げて低電圧でも大きい駆動力及び大きい回動角を得られる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つのグルーブを有するマイクロミラーと、前記マイクロミラーを回動自在に支持する弾性体と、前記マイクロミラーと相互作用して静電力を生じることによってマイクロミラーを回動させる少なくとも一つ以上の電極とを含み、前記少なくとも一つ以上の電極の電圧大きさまたは電圧波形を調節して前記マイクロミラーの回動に対する振幅と周波数を制御することを特徴とするマイクロミラー駆動装置。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10

FI (3件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/10 A ,  G02B 26/10 F

Fターム (6件)：

2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB26 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光スキャナとその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-205707   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭62-203118
  
• 微小揺動ミラー素子及びこれを用いたレーザ走査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-122782   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• マイクロミラー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-339970   出願人：三菱電機株式会社