特許
J-GLOBAL ID：200903011181382225
成膜装置及びそれを用いた発光装置の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-358857
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223077
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】 信頼性の高いEL素子を形成しうる成膜装置を提供する。【解決手段】 スピンコータ等の液相成膜室109の成膜室内に周期表の1族または2族に属する元素からなる酸化剤209を設けた酸化セル205が設けられている。そして、酸化剤209が酸化されることによって雰囲気中の酸素が消費され雰囲気中の酸素濃度を1ppb以下に低減できる。これにより殆ど無酸素状態でEL素子を形成することができ、EL素子の信頼性が大幅に向上する。
請求項（抜粋）：
基板の搬入または搬出を行うストック室、前記基板を搬送する機構を含む搬送室及び前記搬送室にゲートを介して連結された液相成膜室を有し、前記液相成膜室には周期表の1族または2族に属する元素を酸化させる機構が備えられていることを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
