特許

J-GLOBAL ID：200903011262862051

位置検出装置及び位置検出方法

発明者： 小林 満
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 前田 均 ,  西出 眞吾 ,  大倉 宏一郎 ,  佐藤 美樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-210417
公開番号（公開出願番号）：特開2006-030021
出願日： 2004年07月16日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】サーチカメラによる低倍率での位置検出結果に基づいて、レチクルマークをファインカメラの中心近傍に適切に配置することののできるレチクルアライメント系を提供する。 【解決手段】サーチ観察系228の光学素子221又はモニタ用撮像素子222の倍率量、ディストーション量あるいは回転量に起因するサーチ計測誤差を予め検出し、補正マップとして記憶しておき、実際のサーチ計測結果をこの補正マップを用いて補正する。これにより、ファイン計測の際には、ファイン観察系229の視野中心に適切にレチクルアライメントマークRMが配置され、レチクルアライメントマークとウエハ基準マークの位置合わせを高精度に行なうことができる。 【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

第1の光学系及び第1の光電変換素子を備え、所望の検出対象の位置を検出する第1の位置検出手段と、第2の光学系及び第2の光電変換素子を備え、前記所望の検出対象の位置を前記第1の位置検出手段よりも高精度に検出する第2の位置検出手段と、を含む位置検出装置であって、 前記第1の位置検出手段の構成要素を要因として該第1の位置検出手段の検出結果に生じる誤差を、予め記憶されている補正データに基づいて補正する補正手段と、 前記補正手段によって補正された前記検出結果に基づいて、前記所望の検出対象を移動させて、当該所望の検出対象を前記第2の位置検出手段の検出視野内に位置決めする駆動手段と、を有し、 前記第2の位置検出手段は、前記駆動手段によって前記検出視野内に移動された前記所望の検出対象の位置を検出することを特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01B11/00 H ,  G03F9/00 H ,  H01L21/30 525W ,  H01L21/30 525R

Fターム (38件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065AA37 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065CC20 ,  2F065DD06 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ45 ,  2F065RR07 ,  2F065TT08 ,  2F065UU02 ,  5F046BA03 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046FA09 ,  5F046FB19 ,  5F046FC04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 位置検出装置及び位置合せ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-332972   出願人：株式会社ニコン