特許
J-GLOBAL ID:200903011273560391

定量吐出ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 小森 久夫 ,  小澤 壯夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-101480
公開番号(公開出願番号):特開2009-250167
出願日: 2008年04月09日
公開日(公表日): 2009年10月29日
要約:
【課題】適切な応答性および定量性を実現しつつ、空気の混入および作動流体の漏れを防止することが可能な定量吐出ポンプを提供する。【解決手段】チューブフラムポンプ10は、チューブフラム12、作動流体室142、シリンダ部144、ピストン20、およびシール部40を備える。作動流体室142は、チューブフラム12を膨張または収縮させるための作動流体18が充填される。シリンダ部144は、作動流体18が充填されるとともに作動流体室142に連通するように構成される。ピストン20は、シリンダ部144内において作動流体室142に向けて突出および後退可能に構成される。シール部40は、ピストン20とシリンダ部144の内壁との隙間を外側から覆うように構成される。また、シール部40は、ピストンの移動に追従して変形可能な隔壁を備え、内部に作動流体が充填されるように構成される。【選択図】図2
請求項(抜粋):
ワークに対して処理液を供給するための処理液供給装置に用いられる定量吐出ポンプであって、 処理液の吸込口および吐出口を有するとともに容積可変に構成されたポンプ室と、 前記ポンプ室を膨張または収縮させるための作動流体が充填された作動流体室と、 前記作動流体が充填されるとともに前記作動流体室に連通するように構成されたシリンダ部と、 前記シリンダ部内において前記作動流体室に向けて突出および後退可能に構成されたピストンと、 前記ピストンとシリンダ部の内壁との隙間を外側から覆うように構成されたシール部と、を備え、 前記シール部は、前記ピストンの移動に追従して変形可能な隔壁を備え、内部に前記作動流体が充填されるように構成された 定量吐出ポンプ。
IPC (1件):
F04B 43/10
FI (1件):
F04B43/10
Fターム (11件):
3H077AA08 ,  3H077CC04 ,  3H077CC08 ,  3H077DD02 ,  3H077DD15 ,  3H077EE02 ,  3H077EE05 ,  3H077FF02 ,  3H077FF03 ,  3H077FF06 ,  3H077FF12
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特許第3554115号
  • 特許第3723084号
審査官引用 (3件)

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