特許

J-GLOBAL ID：200903011303496596

表面状態検査装置

発明者： 早野 史倫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 保坂 丈世
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-185152
公開番号（公開出願番号）：特開2009-025003
出願日： 2007年07月17日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：

【課題】平板状の被検査部材の異なる被検査領域を同時に検査可能で、かつ、連続した検査領域として検査可能な表面状態検査装置を提供する。【解決手段】ウェハ1の表面検査領域S1、端面検査領域SEび裏面検査領域S2を連続する被検査領域として検査する表面状態検査装置を、被検査領域に照明光を照射する光学ファイバー16,17,18及び集光レンズ19,20,21と、被検査領域からの反射光若しくは散乱光を集光する対物レンズ5,6,7と、この対物レンズ5,6,7によって集光された反射光若しくは散乱光による像を検出するラインセンサ13,14,15と、被検査領域からの反射光若しくは散乱光による像の向きを整えて連続した1つの検査領域の像とする信号合成部22とから構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平板状の被検査部材の表面外周部、外周端面部及び裏面外周部を連続する被検査領域として検査する表面状態検査装置であって、 前記表面外周部、前記外周端面部及び前記裏面外周部に照明光を照射する照明手段と、 前記表面外周部、前記外周端面部及び前記裏面外周部からの反射光若しくは散乱光を集光する集光手段と、 前記集光手段によって集光された前記反射光若しくは散乱光による像を検出する検出手段と、 前記表面外周部、前記外周端面部及び前記裏面外周部からの反射光若しくは散乱光による前記像の向きを整えて連続した1つの検査領域の像とする検査領域連続化手段とを有する表面状態検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (20件)：

2G051AA51 ,  2G051AB05 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB08 ,  4M106DB11 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ12 ,  4M106DJ20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 多方向観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-322335   出願人：オリンパス株式会社