特許
J-GLOBAL ID:200903011305161230
ヒーター
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-043977
公開番号(公開出願番号):特開2004-214211
出願日: 2004年02月20日
公開日(公表日): 2004年07月29日
要約:
【課題】 温度制御しやすく、薄くて軽いヒーターを提供する。【解決手段】 窒化物セラミックまたは炭化物セラミックからなる板状体の表面に金属粒子を焼結して形成した発熱体が設けられていると共に、この板状体には熱電対用の凹部が形成されていることを特徴とするヒーター。窒化物セラミックまたは炭化物セラミックは、熱膨張係数が金属より小さく、薄くしても、加熱によりそったり、歪んだりしない。そのため、かかるヒーター板は薄くて軽いものとすることができる。また、かかるヒーター板は、熱伝導率が高く、ヒーター板自体が薄いため、ヒーター板の表面温度が、発熱体の温度変化に迅速に追従する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
窒化物セラミックまたは炭化物セラミックからなる板状体の表面に金属粒子を焼結して形成した発熱体が設けられていると共に、この板状体には凹部が形成されていることを特徴とするヒーター。
IPC (7件):
H05B3/74
, H01L21/02
, H01L21/027
, H05B3/00
, H05B3/10
, H05B3/12
, H05B3/20
FI (7件):
H05B3/74
, H01L21/02 Z
, H05B3/00 310E
, H05B3/10 C
, H05B3/12 A
, H05B3/20 393
, H01L21/30 567
Fターム (38件):
3K034AA03
, 3K034AA16
, 3K034AA34
, 3K034AA37
, 3K034BA02
, 3K034BB06
, 3K034BB14
, 3K034BC04
, 3K034BC12
, 3K034CA26
, 3K034DA04
, 3K034HA04
, 3K058AA86
, 3K058AA95
, 3K058BA14
, 3K058CA69
, 3K058CE02
, 3K058CE13
, 3K058CE19
, 3K092PP20
, 3K092QA05
, 3K092QB02
, 3K092QB04
, 3K092QB30
, 3K092QB43
, 3K092QB61
, 3K092QB75
, 3K092QB76
, 3K092QC52
, 3K092RF03
, 3K092RF11
, 3K092RF17
, 3K092RF22
, 3K092UA05
, 3K092VV04
, 3K092VV22
, 3K092VV31
, 5F046KA04
引用特許:
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