クリーンルーム

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-311712
公開番号（公開出願番号）：特開平11-141938
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】空調機の消費電力を抑えてランニングコストを低減でき、また空調機の初期投資コストも低減できるクリーンルームを提供する。【解決手段】天井室2に循環空気を供給し、天井室2から高性能フィルタを有するファンフィルタユニット6を通して処理装置10が配設された処理室3に清浄空気をダウンフローで供給し、この処理室3の通気構造のグレーチング床7から下部の床下室4に排出し、床下室4から天井室2に循環通路8を通して空気を循環させ、かつ処理装置10の補助機器15、16を配設する機器室5を床下室4の下部に気密分離した状態で設けて清浄空気の循環通路とは別に外気を流通させるようにし、発熱源及び発塵源である補助機器15、16を清浄空気の循環通路から分離して配設した。

請求項（抜粋）：

循環空気が供給される天井室と、処理装置が配設されるとともに天井室から高性能フィルタを通して供給された空気が通気構造の床面から排出される処理室と、処理室の床面から排出された空気が流入する床下室と、床下室から天井室に空気を循環させるリターン通路と、処理装置の補助機器が配設されるとともに外気が流通される機器室とを備えたことを特徴とするクリーンルーム。

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平2-161240
熱排出方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-050177 出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社

審査官引用 (2件)

特開平2-161240
熱排出方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-050177 出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社

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