特許

J-GLOBAL ID：200903011352148323

接触センサ

発明者： 金子 新二
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-063765
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255221
出願日： 2000年03月08日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】本発明は、非常に狭い空間に配置することができる極薄の接触センサを提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、半導体からなる薄板に設けられた突起部と、この突起部の周辺部の前記半導体からなる薄板に設けられた開口部と、前記突起部近傍に設けられ、前記突起部に作用する力を前記半導体からなる薄板の歪みにより検出する歪みセンサとを有することを特徴とする接触センサが提供される。

請求項（抜粋）：

半導体からなる薄板に設けられた突起部と、この突起部の周辺部の前記半導体からなる薄板に設けられた開口部と、前記突起部近傍に設けられ、前記突起部に作用する力を前記半導体からなる薄板の歪みにより検出する歪みセンサと、を有することを特徴とする接触センサ。

IPC (3件)：

G01L 5/00 101 ,  B81B 3/00 ,  G01L 1/18

FI (3件)：

G01L 5/00 101 Z ,  B81B 3/00 ,  G01L 1/18 A

Fターム (4件)：

2F051AA00 ,  2F051AB10 ,  2F051AC01 ,  2F051AC04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-089539
  
• 特開昭62-274229
  
• 触覚センサおよび触覚イメージャー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-205400   出願人：三菱電線工業株式会社