特許
J-GLOBAL ID：200903011358013560
X線応力測定方法およびX線応力測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
宮井 暎夫
, 伊藤 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-009264
公開番号（公開出願番号）：特開2005-201804
出願日： 2004年01月16日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 1回の測定で迅速かつ高精度なX線での応力測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】 X線源1から出力されたX線の光路上に保持された試料4にX線を入射して、試料から生じる回折X線5を検出する位置感応型X線検出器7を用いたX線応力測定方法であって、試料を透過した回折X線5を位置感応型X線検出器で検出することで試料の残留応力を測定する。測定試料の膜厚を薄くして透過X線で回折X線を測定することにより、基準となる入射X線2も位置感応型X線検出器に記録されるため、回折X線パターンを正確に読み取ることができる。このように回折X線の測定の基準となる入射X線の位置を正確に把握できるため、迅速かつ高精度な応力測定が可能となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
X線源から出力されたX線の光路上に保持された試料にX線を入射して、前記試料から生じる回折X線を検出する位置感応型X線検出器を用いたX線応力測定方法であって、
前記試料を透過した回折X線を前記位置感応型X線検出器で検出することで前記試料の残留応力を測定することを特徴とするX線応力測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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