波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：増田達哉 , 朝比一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-021475
公開番号（公開出願番号）：特開2006-208791
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】当該波長可変フィルタから出射した光の減衰を防止することができ、また、様々な波長の光に対して波長分離が可能な波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】貫通孔24を有するベース基板2と、開口部311を有する可動部31を備える可動基板3と、開口部311を覆うように可動部31に接合され、可動反射膜210が設けられた光透過基板4と、干渉用ギャップ9を介して可動反射膜210と対向する部位に固定反射膜200が設けられた固定基板5と、クーロン力により可動部31を固定基板5に対して変位させることにより、干渉用ギャップ9の間隔を変更する駆動部とを備え、固定反射膜200と可動反射膜210との間で反射を繰り返し、干渉用ギャップ9の間隔に応じた波長の干渉光を外部に出射し得るよう構成されたことを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

凹部を有する第1の基板と、前記凹部に対向する位置に開口部を有する可動部と、該可動部を変位可能に支持する支持部とを備え、前記第1の基板に接合された導電性を有する第2の基板と、前記開口部に対応する部位に位置するように、前記可動部に接合された光透過性を有する第3の基板と、前記凹部の底部に設けられた固定反射膜と、前記第3の基板の前記凹部側に設けられ、前記固定反射膜に対し、干渉用ギャップを介して対向配置された可動反射膜と、前記開口部に対応する部位に導光路を有し、絶縁層を介して前記第2の基板と対向するように配置された、前記可動部を駆動させる電極を構成する第4の基板と、前記可動部と前記第4の基板との電位差により生じるクーロン力によって、前記可動部を前記第1の基板に対して変位させることにより、前記干渉用ギャップの間隔を変更する駆動部とを有し、前記固定反射膜と前記可動反射膜との間において反射を繰り返し、干渉を生じさせて前記干渉用ギャップの間隔に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されたことを特徴とする波長可変フィルタ。

IPC (3件)：

G02B 26/00 , B81B 3/00 , B81C 3/00

FI (3件)：

G02B26/00 , B81B3/00 , B81C3/00

Fターム (6件)：

2H041AA21 , 2H041AA23 , 2H041AB10 , 2H041AC06 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08

引用特許：

出願人引用 (2件)

ファブリペローフィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-371261 出願人：横河電機株式会社
米国特許第6341039号明細書

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