ファブリペローフィルタ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-371261
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174721
出願日： 2000年12月06日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】可動鏡を構成する膜の応力の設計範囲を広くするとともに、その膜の成膜装置依存性を小さくした波長可変ファブリペローフィルタを提供する。【解決手段】ファブリペローフィルタの可動鏡を、引張応力を示す膜と圧縮応力を示す膜とを積層してなる多層光学薄膜、又は、互いに異なる引張応力を示す膜を積層してなる多層光学薄膜により形成する。多層光学薄膜は、例えば、高屈折率膜F1/低屈折率膜F2/高屈折率膜F3をこの順で積層した3層構造とする。

請求項（抜粋）：

固定鏡と、固定鏡との間にギャップを形成した状態で固定鏡に対向配置された可動鏡とを有し、可動鏡を固定鏡に対して変位させることにより前記ギャップの長さを可変としたファブリペローフィルタにおいて、前記可動鏡を、引張応力を示す少なくとも1枚の膜と、圧縮応力を示す少なくとも1枚の膜とを積層してなる多層光学薄膜により形成したことを特徴とするファブリペローフィルタ。

IPC (2件)：

G02B 5/28 , G02B 26/00

FI (2件)：

G02B 5/28 , G02B 26/00

Fターム (9件)：

2H041AA05 , 2H041AB10 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 2H041AZ08 , 2H048GA07 , 2H048GA13 , 2H048GA33 , 2H048GA51

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-062501
多層膜光学部品およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-083176 出願人：キヤノン株式会社
シングルチャンネルガス濃度測定の方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-002123 出願人：ヴァイサラオイ

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