特許
J-GLOBAL ID：200903011361196357
溶液噴射ヘッドとこれを用いた機能膜形成装置、及び液晶表示装置とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-076014
公開番号（公開出願番号）：特開2003-275623
出願日： 2002年03月19日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：
【要約】【課題】 機能膜溶液を基板上に吐出する溶液噴射ヘッドでの溶液吐出口での目詰まりなどの発生を防止し、機能膜溶液を安定して吐出できるようにする。【解決手段】 供給口プレート9と、この供給口プレート9とヘッド本体1で挟んだ加圧部4と、供給口プレート9と接合部13で接合された加圧室プレート8とにより、機能膜溶液の加圧室10が形成されており、機能膜溶液は溶液供給口5から供給され、ヘッド本体1内の圧電素子2に電圧が印加されると、圧電素子2が変形して加圧部4が加圧室10に押し込まれて機能膜溶液に圧力が加わり、貫通孔8aを通して溶液吐出口6から機能膜溶液が吐出される。ここで、機能膜溶液と接する加圧部4は機能膜溶液に溶解しないポリイミドフィルムや薄いステンレスプレートなどからなり、また、機能膜溶液と接液する接合部13には、機能膜溶液に溶解しないポリイミド樹脂系接着剤を用いるか、熱圧接を用いる。
請求項（抜粋）：
溶液の加圧室と、該加圧室に連通した複数の溶液吐出口と、該加圧室に該溶液を供給する溶液供給口と、該加圧室の壁の一部を形成して該加圧室内の該溶液に圧力を加える加圧部とを備えた溶液噴射ヘッドにおいて、該加圧部が熱可塑性のポリイミドフィルムで形成され、かつ加圧部とともに該加圧室を形成する溶液供給口プレートと加圧室プレートとの接合、該加圧室プレートと溶液吐出口プレートとの接合を夫々、熱圧接もしくは該溶液に対して耐溶解性の接着剤でなされていることを特徴とする溶液噴射ヘッド。
IPC (4件)：
B05B 1/14
, B05C 5/00 101
, G02F 1/1333 505
, G02F 1/1337
B05B 1/14 Z
, B05C 5/00 101
, G02F 1/1333 505
, G02F 1/1337
2H090HC05
, 2H090HC08
, 2H090HC17
, 2H090HC18
, 4F033AA01
, 4F033BA03
, 4F033CA01
, 4F033DA01
, 4F033EA01
, 4F033GA00
, 4F033NA01
, 4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA12
, 4F041BA34
