特許
J-GLOBAL ID：200903011400622032
表示装置の検査装置および検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-080067
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281526
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示装置等を光学顕微鏡等を用いて検査する際、パネルを表面側および裏面側を、パネルを裏返すことなく観察することが出来る表示装置の検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】 検査装置の検査位置に上下両側に光学顕微鏡等の観察手段を光軸が一致するように配置する。それぞれの観察手段が具備する照明は互いに共用し合う構成としている。被検査物であるパネルを検査する際にはパネルが保持されたステージの移動、画像の読み取り、それぞれの観察手段が具備する照明の点灯および消灯をコンピュータで制御しながら、反射状態あるいは透過状態で、同時にあるいは交互にパネルの検査を行う。
請求項（抜粋）：
所定の位置に搬送された表示装置を検査するための表示装置の検査装置において、所定の位置に搬送された前記表示装置の上面を観察する第1の観察手段と、前記表示装置の下面を観察する第2の観察手段と、を有することを特徴とする表示装置の検査装置。
引用特許：
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